3D形象检测仪C2000
膜厚仪ST4000-DLX手动型
3D形象检测仪C4000
产品规格
波长范围
400~800nm
测量范围
100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透镜大小
M5x,M10x,M20x
测量光斑尺寸
40㎛，20㎛，10㎛
测量层数
3
样品台尺寸
300mmX300mm
X,Y轴重现性,
±2.5㎛
Z轴重现性
±2㎛
可选部分
SRM(标准参考样片) 光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛) 样品台可扩至370mmX470mm
产品特征
快速测量&操作简便非接触&非破坏性良好的重复性和再现性测量可达3层&测量精度良好自动平台控制&自动聚焦功能具有2D/3D绘制图与曲面轮廓需加防震台
应用领域
半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2Polymer:PVA,PET,PP,PR...LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏间隙，光刻胶与酰亚胺薄膜，石英Optical Coating:Hardness涂层，增透膜,Filters,Packing & Functional FilmRecordable 材料：光感导鼓，摄像头，光盘...其他：示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板，薄金属膜，激光镜,ALQ3...
