Thinfilm Thickness Measurement ST400···
3D Surface Profiler C2000
Thinfilm Thickness MeasurementST5030···
产品规格
波长范围 | 400~800nm |
测量范围 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
透镜大小 | M5x,M10x,M20x |
测量光斑尺寸 | 40㎛，20㎛，10㎛ |
测量层数 | 3 |
样品台尺寸 | 300mmX300mm |
X,Y轴重现性, | ±2.5㎛ |
Z轴重现性 | ±2㎛ |
可选部分 | SRM(标准参考样片) |
产品特征
快速测量&操作简便 |
应用领域
半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe... |
