Thinfilm Thickness Measurement ST400···
3D Surface Profiler C2000
Thinfilm Thickness MeasurementST5030···
产品规格
波长范围 | 400~800nm |
测量范围 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) |
透镜大小 | M5x,M10x |
测量光斑尺寸 | 40㎛，20㎛ |
测量层数 | 3 |
样品台尺寸 | 200mmX200mm |
X,Y,Z机制 | 辊式导板 |
手动聚焦模块 | 同轴粗微调焦控制 |
可选部分 | SRM(标准参考样片) |
产品特征
快速测量&操作简便 |
应用领域
半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe... |
