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Thinfilm Thickness Measurement ST2000-DLXn

Date:2019-12-02 10:02:05
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产品介绍

Reflectometer 使用方式分析种子的厚度,如果薄膜能维持透明、光干涉性,任何种类的种类都可以测定,多层薄膜结构也可以测定每层薄膜厚度。测量材料的表面不损伤,可以测量速度,从84911;用低预算购买厚度测量设备的大学内研究室是合适的模特。


产品规格

 波长范围

 400~800nm

 测量范围

 200Å~ 35㎛(Depends on Film Type)

 透镜大小

 M5x,M10x

 测量光斑尺寸

 40㎛,20㎛

 测量层数

 3

 样品台尺寸

150mmX120mm

 X,Y,Z机制

 辊式导板
 移动距离:70mmX50mm

 手动聚焦模块

 同轴粗微调焦控制

 可选部分

 SRM(标准参考样片)
 光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛)
 CCD摄像头
 透射功能


产品特征

快速测量&操作简便
非接触&非破坏性
良好的重复性和再现性
基于用户易操作的界面
各个视图和储存数据的打印功能
测量可达3层&测量精度良好
手动型


应用领域

半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物,ITO,屏间隙,光刻胶与酰亚胺薄膜,石英
Optical Coating:Hardness涂层,增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料:光感导鼓,摄像头,光盘...
其他:示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板,薄金属膜,激光镜,ALQ3...